簡要描述:TAKEX 梳齒型晶圓映射傳感器 ASW 系列晶圓映射傳感器的目的是檢測半導體制造中的半透明晶圓(如碳化硅、藍寶石和硅),以確保準確和高效的加工過程。
TAKEX 梳齒型晶圓映射傳感器 ASW 系列
TAKEX 梳齒型晶圓映射傳感器 ASW 系列晶圓映射傳感器的目的是檢測半
導體制造中的半透明晶圓(如碳化硅、藍寶石和硅),以確保準確和高效的加工
過程。
在實際工作中,薄而易碎的半導體晶圓體,在加工過程的轉(zhuǎn)運時,往往需要
類似于FOUP(Front Opening Unified Pod)的盒式載具。
而ASW系列正是適合使用的探測器,用來確認盒體中晶圓的數(shù)量及是否殘缺。
該傳感器可以檢測多種類型的半透明晶圓,包括碳化硅、藍寶石、硅以及其
他類似材料。
ASW 系列的功能及特點包括:
1. 半透明晶圓模式:傳感器能夠檢測和映射6英寸、8英寸和12英寸的半透明
晶圓,如碳化硅、藍寶石和硅。
2. 靜電故障免疫:傳感器設(shè)計免受靜電影響,確??煽康臋z測。
3. 易維護:傳感器的梳狀傳感器單元可以通過單次操作輕松更換,方便維護。
4. 輸出禁止功能:傳感器具有輸出禁止功能,可以無論傳感器狀態(tài)如何禁止所
有輸出。當并聯(lián)連接兩個傳感器時,可以通過單個輸入控制它們。
5. 遠程教學和光發(fā)射禁止功能:傳感器具有光發(fā)射禁止功能,可以檢查輸出
操作。當該功能被重置并且傳感器獲得最佳靈敏度時,教學將重新開始。
6. 故障輸出和自診斷功能:傳感器在教學過程中會發(fā)出警報,并在發(fā)生故障
(如接收光強度低、梳狀傳感器損壞或外部光干擾)時依次打開和關(guān)閉每
個通道的輸出。
7. 符合CE標準:8英寸和12英寸型號的傳感器符合CE標準。
8. 機器人電纜和離散輸出:傳感器每個通道輸出信號獨立,并采用高度靈活
的機器人電纜(適用于6英寸和8英寸型號)。
這些特點有助于簡化維護、節(jié)省成本,并可可靠地檢測高透光率的晶圓。
正因為具備如上的特點,該探測器成為晶圓加工過程中的有利助手。